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高溫?zé)Y(jié)爐在使用時(shí)可能遇到哪些問(wèn)題?如何解決?
瀏覽次數(shù):1240發(fā)布日期:2021-10-19
  高溫?zé)Y(jié)爐主要用于半導(dǎo)體元器件及電力整流器件的燒結(jié)工藝,可進(jìn)行真空燒結(jié),氣體保護(hù)燒結(jié)及常規(guī)燒結(jié),是半導(dǎo)體設(shè)備系列中一種新穎的工藝裝備。下面詳解高溫?zé)Y(jié)爐的幾種常見(jiàn)故障應(yīng)對(duì)措施:
 
  一、冷卻水異常
 
  1、確認(rèn)加熱電源已停止。
 
  2、爐外發(fā)生漏水,冷卻水量異常時(shí),應(yīng)盡快采取應(yīng)急措施,如能保證水量,請(qǐng)繼續(xù)保持真空,如不能采取應(yīng)急措施,保持原狀,確認(rèn)設(shè)備冷卻下來(lái)。
 
  3、冷卻水發(fā)生異常時(shí),設(shè)備處于停止?fàn)顟B(tài),馬上接通緊急用冷卻水。
 
  4、在高溫(超過(guò)200℃即視為高溫)時(shí),如果冷卻水停止了,如果不能緊急送水,水冷電極、換熱器、真空室殼體及各泵可能被損壞。
 
  二、壓縮空氣的停止
 
  1、壓縮空氣異常報(bào)警時(shí),設(shè)備處于停止?fàn)顟B(tài),應(yīng)盡快到備用的壓縮機(jī)房,讓其恢復(fù)工作。
 
  2、真空中如壓縮空氣異常報(bào)警,且恢復(fù)需要較長(zhǎng)時(shí)間時(shí),則終止真空,讓設(shè)備停下來(lái)。
 
  三、停電
 
  1、停電時(shí),如果斷水,應(yīng)立即接通備用的冷卻水,接通水源。
 
  2、如果在非升溫、加熱和冷卻時(shí),能夠盡快恢復(fù)時(shí),重新啟動(dòng)設(shè)備,繼續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)如需要較長(zhǎng)時(shí)間,則將設(shè)備保持原狀。
 
  3、如果正在加熱和冷卻時(shí),能夠盡快恢復(fù)時(shí),重新啟動(dòng)設(shè)備,如果需要較長(zhǎng)時(shí)間時(shí),則保持原狀,讓設(shè)備自然冷卻下來(lái)。
 
  四、加熱電源掉電
 
  1、水壓低,當(dāng)水壓低于0.15MPa,壓力表報(bào)警。
 
  2、接地故障。
 
  3、真空放電,水冷電極接頭與加熱器連接處必須連接牢固,與反射屏絕緣要好。
 
  4、若爐內(nèi)壓力為13.3-66.5Pa時(shí)(此真空度容易發(fā)生放電)。電源出現(xiàn)故障,掉電的原因可以認(rèn)為由于電介質(zhì)擊穿而引起的放電。
 
  五、充氣氣體(氬氣或氮?dú)?停止
 
  1、抽真空開(kāi)始前,氣體充入時(shí)間長(zhǎng)或者無(wú)法充入時(shí),請(qǐng)確認(rèn)氣體管路是否被堵塞。
 
  2、如氣體管路沒(méi)問(wèn)題,檢查電磁閥及氣體充氣閥的動(dòng)作,為了安全與其相關(guān)聯(lián)的設(shè)備要全部停止后再進(jìn)行檢查。
 
  3、向真空室內(nèi)充氣不能停止的情況下,泄壓閥動(dòng)作如泄壓閥動(dòng)作時(shí),要關(guān)閉氣體供給閥及配管在內(nèi)的所有氣體系統(tǒng)。
 
  4、確認(rèn)氣體充氣配管是否有漏氣的地方,如有會(huì)影響制品質(zhì)量。
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